金融界 2024 年 7 月 9 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，浙江晶盛机电股份有限公司请求一项名为“抛光机及抛光状况监测办法“专利，公开号 CN0.7，请求日期为 2024 年 6 月。

  专利摘要显现，本发明供给了一种抛光机及抛光状况监测办法，归于晶片抛光技能领域，处理了现存技能抛光机停机次数多的问题。本发明的抛光机包含抛光盘，抛光盘上设有抛光垫，用于抛光晶片；抛光头，抛光头设置于抛光盘上方，抛光头包含：软基垫和本体，软基垫设置于抛光头底部，软基垫用于吸附晶片，本体设置于软基垫上方远离抛光垫的一侧，本体与软基垫之间构成一空腔；以及检测组件，包含磁场发生器和磁场检测器。本请求经过在抛光盘上设置磁场发生器以构成磁场，并运用磁场的磁吸力与抛光头内的磁场检测器相配合，然后快速检测晶片状况为正常运转或飞片，便于及时履行相应的抛光操控战略，可延长抛光机的惯例运用的寿数，削减停机次数。